Tungsten hexafluoride (WF6) د CVD پروسې له لارې د ویفر په سطح کې زیرمه کیږي، د فلزي یو بل سره نښلوي خندقونه ډکوي، او د پرتونو ترمنځ د فلزي نښلول رامینځته کوي.
راځئ چې لومړی د پلازما په اړه خبرې وکړو.پلازما د مادې یوه بڼه ده چې په عمده توګه د وړیا الکترونونو او چارج شوي ایونونو څخه جوړه شوې ده.دا په ټوله نړۍ کې په پراخه کچه شتون لري او ډیری وختونه د مادې څلورم حالت ګڼل کیږي.دا د پلازما حالت بلل کیږي، د پلازما په نوم هم یادیږي.پلازما لوړ بریښنایی چالکتیا لري او د بریښنایی مقناطیسي ساحې سره قوي ترکیب اغیزه لري.دا یو جزوی ionized ګاز دی چې د الکترونونو، آیونونو، ازادو رادیکالونو، بې طرفه ذراتو او فوټونونو څخه جوړ شوی دی.پلازما پخپله یو بریښنایی غیر جانبدار مخلوط دی چې فزیکي او کیمیاوي فعال ذرات لري.
مستقیم توضیحات دا دي چې د لوړې انرژي د عمل لاندې ، مالیکول به د وین ډیر والز ځواک ، کیمیاوي بانډ ځواک او کولمب ځواک باندې غالب شي ، او په ټوله کې د غیر جانبدار بریښنا بڼه وړاندې کوي.په ورته وخت کې ، د بهر لخوا تادیه شوې لوړه انرژي پورتنۍ درې قواوې غالبوي.فنکشن، الکترونونه او آیونونه یو آزاد حالت وړاندې کوي، کوم چې په مصنوعي توګه د مقناطیسي ساحې د انډول کولو الندې کارول کیدی شي، لکه د سیمی کنډکټر ایچینګ پروسه، CVD پروسه، PVD او IMP پروسه.
لوړه انرژي څه ده؟په تیوري کې، دواړه لوړ حرارت او لوړ فریکونسۍ RF کارول کیدی شي.په عموم کې، د لوړې تودوخې ترلاسه کول تقریبا ناممکن دي.د دې تودوخې اړتیا خورا لوړه ده او ممکن د لمر د تودوخې سره نږدې وي.دا په اصل کې په پروسه کې ترلاسه کول ناممکن دي.له همدې امله ، صنعت معمولا د دې ترلاسه کولو لپاره د لوړې فریکونسۍ RF کاروي.پلازما RF کولی شي تر 13MHz+ پورې لوړ شي.
ټنګسټن هیکسافلوورایډ د بریښنایی ساحې د عمل لاندې پلازما شوی ، او بیا د مقناطیسي ساحې لخوا بخار جمع کیږي.د W اتومونه د ژمي د غوز بڼکو ته ورته دي او د جاذبې عمل لاندې ځمکې ته راښکته کیږي.ورو ورو، د W اتومونه د سوري له لارې زیرمه کیږي، او په پای کې د سوراخونو له لارې بشپړ ډک شوي ترڅو فلزي یو بل سره نښلوي.د سوري له لارې د W اتومونو د زیرمه کولو سربیره، ایا دوی به د ویفر په سطحه هم زیرمه شي؟هو، یقینا.په عمومي توګه، تاسو کولی شئ د W-CMP پروسې څخه کار واخلئ، کوم چې موږ د میخانیکي پیس کولو پروسې ته وایو.دا د سختې واورې وروسته د فرش پاکولو لپاره د جارو کارولو ته ورته دی.په ځمکه واوره له منځه ځي، مګر د ځمکې په سوري کې واوره پاتې کیږي.ښکته، تقریبا ورته.
د پوسټ وخت: دسمبر-24-2021
