ټنګسټن هیکسافلوورایډ (WF6) د CVD پروسې له لارې د ویفر په سطحه کې زیرمه کیږي، د فلزي انټرکنکشن خندقونه ډکوي، او د طبقو ترمنځ د فلزي انټرکنکشن جوړوي.
راځئ چې لومړی د پلازما په اړه وغږیږو. پلازما د مادې یوه بڼه ده چې په عمده توګه د آزادو الکترونونو او چارج شویو ایونونو څخه جوړه شوې ده. دا په کایناتو کې په پراخه کچه شتون لري او ډیری وختونه د مادې څلورم حالت ګڼل کیږي. دا د پلازما حالت په نوم یادیږي، چې "پلازما" هم ویل کیږي. پلازما لوړ بریښنایی چالکتیا لري او د الکترو مقناطیسي ساحې سره قوي اړیکه اغیزه لري. دا یو جزوي ایون شوی ګاز دی، چې د الکترونونو، ایونونو، آزادو رادیکالونو، بې طرفه ذراتو او فوټونونو څخه جوړ شوی دی. پلازما پخپله یو بریښنایی بې طرفه مخلوط دی چې په فزیکي او کیمیاوي ډول فعال ذرات لري.
ساده وضاحت دا دی چې د لوړې انرژۍ د عمل لاندې، مالیکول به د وان ډیر والز ځواک، کیمیاوي بانډ ځواک او کولمب ځواک باندې غالب شي، او په ټولیزه توګه د بې طرفه بریښنا بڼه وړاندې کړي. په ورته وخت کې، د بهر لخوا ورکړل شوې لوړه انرژي پورته درې قوې باندې غالب کیږي. فعالیت، الکترونونه او آیونونه یو آزاد حالت وړاندې کوي، کوم چې په مصنوعي ډول د مقناطیسي ساحې د تعدیل لاندې کارول کیدی شي، لکه د سیمیکمډکټر ایچینګ پروسه، CVD پروسه، PVD او IMP پروسه.
لوړ انرژي څه شی دی؟ په تیوري کې، د لوړې تودوخې او لوړې فریکونسۍ RF دواړه کارول کیدی شي. په عمومي ډول، د لوړې تودوخې ترلاسه کول تقریبا ناممکن دي. د تودوخې دا اړتیا ډیره لوړه ده او ممکن د لمر د تودوخې سره نږدې وي. په پروسه کې دا ترلاسه کول اساسا ناممکن دي. له همدې امله، صنعت معمولا د دې ترلاسه کولو لپاره د لوړې فریکونسۍ RF کاروي. پلازما RF کولی شي تر 13MHz+ پورې لوړ ته ورسیږي.
د ټنګسټن هیکسافلوورایډ د بریښنایی ساحې د عمل لاندې پلازما کیږي، او بیا د مقناطیسي ساحې لخوا بخار کې زیرمه کیږي. د W اتومونه د ژمي د غوز بڼکو ته ورته دي او د جاذبې د عمل لاندې ځمکې ته راښکته کیږي. ورو ورو، د W اتومونه په سوریو کې زیرمه کیږي، او په پای کې د فلزي متقابل اړیکو جوړولو لپاره د سوریو له لارې ډک کیږي. د W اتومونو په سوریو کې د زیرمه کولو سربیره، ایا دوی به د ویفر په سطحه هم زیرمه شي؟ هو، یقینا. په عمومي ډول، تاسو کولی شئ د W-CMP پروسې څخه کار واخلئ، کوم چې موږ یې د لرې کولو لپاره میخانیکي پیس کولو پروسه بولو. دا د درنو واورې وروسته د فرش د جارو کارولو سره ورته دی. په ځمکه کې واوره له مینځه وړل کیږي، مګر په ځمکه کې په سوري کې واوره به پاتې شي. ښکته، تقریبا ورته.
د پوسټ وخت: دسمبر-۲۴-۲۰۲۱
