Tungsten hexafluoride (WF6) د CVD پروسې له لارې د ویفر په سطح کې زیرمه کیږي، د فلزي یو بل سره نښلوي خندقونه ډکوي، او د پرتونو ترمنځ د فلزي نښلول رامینځته کوي.
راځئ چې لومړی د پلازما په اړه خبرې وکړو. پلازما د مادې یوه بڼه ده چې په عمده توګه د وړیا الکترونونو او چارج شوي ایونونو څخه جوړه شوې ده. دا په ټوله نړۍ کې په پراخه کچه شتون لري او ډیری وختونه د مادې څلورم حالت ګڼل کیږي. دا د پلازما حالت بلل کیږي، د پلازما په نوم هم یادیږي. پلازما لوړ بریښنایی چالکتیا لري او د بریښنایی مقناطیسي ساحې سره قوي ترکیب اغیزه لري. دا یو جزوی ionized ګاز دی چې د الکترونونو، آیونونو، ازادو رادیکالونو، بې طرفه ذراتو او فوټونونو څخه جوړ شوی دی. پلازما پخپله یو بریښنایی غیر جانبدار مخلوط دی چې په فزیکي او کیمیاوي ډول فعال ذرات لري.
مستقیم توضیحات دا دي چې د لوړې انرژي عمل لاندې ، مالیکول به د وین ډر والز ځواک ، کیمیاوي بانډ ځواک او کولمب ځواک باندې غالب شي ، او په ټوله کې د غیر جانبدار بریښنا بڼه وړاندې کوي. په ورته وخت کې ، د بهر لخوا تادیه شوې لوړه انرژي پورتنۍ درې قواوې غالبوي. فنکشن، الکترونونه او آئنونه یو آزاد حالت وړاندې کوي، کوم چې په مصنوعي توګه د مقناطیسي ساحې د انډول کولو الندې کارول کیدی شي، لکه د سیمی کنډکټر ایچینګ پروسه، CVD پروسه، PVD او IMP پروسه.
لوړه انرژي څه ده؟ په تیوري کې، دواړه لوړ حرارت او لوړ فریکونسۍ RF کارول کیدی شي. په عموم کې، د لوړې تودوخې ترلاسه کول تقریبا ناممکن دي. د دې تودوخې اړتیا خورا لوړه ده او ممکن د لمر د تودوخې سره نږدې وي. دا په اصل کې په پروسه کې ترلاسه کول ناممکن دي. له همدې امله ، صنعت معمولا د دې ترلاسه کولو لپاره د لوړې فریکونسۍ RF کاروي. پلازما RF کولی شي تر 13MHz+ پورې لوړ شي.
ټنګسټن هیکسافلوورایډ د بریښنایی ساحې د عمل لاندې پلازما شوی ، او بیا د مقناطیسي ساحې لخوا بخار جمع کیږي. د W اتومونه د ژمي د غوز بڼکو ته ورته دي او د جاذبې عمل لاندې ځمکې ته راښکته کیږي. ورو ورو، د W اتومونه د سوري له لارې زیرمه کیږي، او په پای کې د سوراخونو له لارې بشپړ ډک شوي ترڅو فلزي یو بل سره نښلوي. د سوري له لارې د W اتومونو د زیرمه کولو سربیره، ایا دوی به د ویفر په سطحه هم زیرمه شي؟ هو، یقینا. په عمومي توګه، تاسو کولی شئ د W-CMP پروسې څخه کار واخلئ، کوم چې موږ د میخانیکي پیس کولو پروسې ته وایو. دا د سختې واورې وروسته د فرش پاکولو لپاره د جارو کارولو ته ورته دی. په ځمکه واوره له منځه ځي، مګر د ځمکې په سوري کې واوره پاتې کیږي. ښکته، تقریبا ورته.
د پوسټ وخت: دسمبر-24-2021
