په وچ ایچینګ کې د عام استعمال شوي ګازونو عام شوي ګازونه کوم دي؟

وچ ایگینګ ټیکنالوژي یو له کلیدي پروسو څخه ده. وچ ایچینګ ګاز په سیمریکډیکټر تولید او د پلازما د اړولو لپاره مهم مواد دي. د دې فعالیت مستقیم د وروستي محصول کیفیت او فعالیت باندې تاثیر کوي. دا مقاله په عمده ډول شریکوي چې د وچ شوي انچینګ پروسې کې د عام کارول شوي ټاسکونو کوم دي.

د فلورین پر اساس ګازونه: لکهکاربن ټیټارکوریوور (CF4)، Hexfullaethanethanethanethanethante، C2F6)، ټرافیوالروموماتین (ChF3) او perfla3) او perfla3) او perfla3) او perfla3) او perfla3) او perfllororporpon (C3F8). دا ګازونه کولی شي په مؤثره توګه د بې ثباتلو فلورونه رامینځته کړي کله چې د والیین او سیلیکون مرکبونه، پدې توګه د موادو لرې کولو ترلاسه کوي.

د کلورین کچه ګازونه: لکه کلورین (CR2)،د بورون ټرافیکلر (BCL3)او سیلیکون ټټرالرایډ (SICL4). د کلورین کچه ګازونه کولی شي د چاپیریال پروسې په جریان کې د کلريډ اختراع چمتو کړي، کوم چې د ټکر کولو نرخ او انتخاب ښه کولو کې مرسته کوي.

د برمین پر بنسټ ګازونه: لکه د BADMERME (BR2) او BINDIN INODINE (Ibr). د برمین پراساس ګازونه کولی شي په ځانګړي بریښنالیکونو پروسو کې د اتصال فعالیت چمتو کړي، په ځانګړي توګه کله چې سخت توکي لکه د سیلیکون کاربایډ.

د نایتروجن اساس او د آکسیجن میشته ګازونه: لکه د نایټروجن ټیفلوفوریډ (NF3) او اکسیجن (O2). دا ګازونه معمولا د عکس العمل د غوره کولو او چاپیریال د معلوماتو ښه کولو لپاره د عکس العمل شرایطو تنظیم کولو لپاره کارول کیږي.

دا ګازونه د Passma په ټول واليت کې د فزیکي سپکاوي او کیمیاوي تعاملاتو ترکیب له لارې د موادو او ساتنې او ساتنې لپاره دقیقا د موادو رښتیني توکی ترلاسه کوي. د ETCHingSing ګاز انتخاب د پلي کیدو لپاره د موادو ډول پورې اړه لري، د اتیاشا د انتخابونو اړتیاوې، او د ELECHEST لګښتونو شرایط.