د وچ ایچنګ ټیکنالوژي یو له مهمو پروسو څخه دی. د وچ ایچنګ ګاز د سیمیکمډکټر تولید کې یو مهم مواد دی او د پلازما ایچنګ لپاره د ګازو یوه مهمه سرچینه ده. د دې فعالیت مستقیم د وروستي محصول کیفیت او فعالیت اغیزه کوي. دا مقاله په عمده توګه د وچ ایچنګ پروسې کې د عام کارول شوي ایچنګ ګازونو سره شریکوي.
د فلورین پر بنسټ ګازونه: لکهکاربن ټیټرافلوورایډ (CF4)، هیکسافلووروایتان (C2F6)، ټرای فلورومیتان (CHF3) او پرفلووروپروپین (C3F8). دا ګازونه کولی شي په مؤثره توګه د سیلیکون او سیلیکون مرکباتو د ایچ کولو پرمهال بې ثباته فلورایډونه تولید کړي، په دې توګه د موادو لرې کول ترلاسه کوي.
د کلورین پر بنسټ ګازونه: لکه کلورین (Cl2)،بوران ټرای کلورایډ (BCl3)او سیلیکون ټیټراکلورایډ (SiCl4). د کلورین پر بنسټ ګازونه کولی شي د ایچنګ پروسې په جریان کې د کلورایډ ایونونه چمتو کړي، کوم چې د ایچنګ کچه او انتخاب ښه کولو کې مرسته کوي.
د برومین پر بنسټ ګازونه: لکه برومین (Br2) او برومین آیوډایډ (IBr). د برومین پر بنسټ ګازونه کولی شي په ځینو ایچنګ پروسو کې د ایچنګ غوره فعالیت چمتو کړي، په ځانګړي توګه کله چې د سیلیکون کاربایډ په څیر سخت مواد ایچنګ کوي.
د نایتروجن پر بنسټ او اکسیجن پر بنسټ ګازونه: لکه نایتروجن ټرای فلورایډ (NF3) او اکسیجن (O2). دا ګازونه معمولا د ایچنګ پروسې کې د عکس العمل شرایطو تنظیم کولو لپاره کارول کیږي ترڅو د ایچنګ انتخاب او سمت ښه کړي.
دا ګازونه د پلازما ایچنګ په جریان کې د فزیکي سپټرینګ او کیمیاوي تعاملاتو ترکیب له لارې د موادو سطحې دقیق ایچنګ ترلاسه کوي. د ایچنګ ګاز انتخاب د هغه موادو ډول پورې اړه لري چې باید ایچنګ شي، د ایچنګ انتخاب اړتیاوې، او د ایچنګ مطلوب نرخ پورې اړه لري.
د پوسټ وخت: فبروري-۰۸-۲۰۲۵
