بریښناییځانګړي ګازونهد ځانګړي ګازونو مهم څانګه ده. دوی د سیمي تجهیزاتو تولید تقریبا ته ننوځي او د بریښنایی صنعتونو تولید لپاره لازمي خام توکي لکه د الټرا لوی کچې مدغم شوي سرکټونه، فلیټ پینل نمونه، او لمریز حجرې.

په سیمیکوپکټر ټیکنالوژي کې، د فلورین لرونکي ګازونه په پراخه کچه کارول کیږي. اوس مهال، د نړیوال ګاز ګاز بازار کې، د فلورین لرونکي بریښنایی ګازونه د مجموعي شاوخوا 30٪ برخه جوړوي. د فلورین - لرونکي بریښنایی ګازونه د بریښنایی معلوماتو معلوماتو موادو په برخه کې د ځانګړو بریښنایی ګازونو مهم جز دی. دا په عمده توګه د پاکولو اجنټانو او د ETECHing اجنټانو په توګه کارول کیږي، او د فلمونو رامینځته کولو موادو، او داسې نور هم وکارول شي چې د عام فلورین لرونکو ګازونو په پوهیدو لپاره هم وکارول شي.

لاندې کارول شوي د فلورین لرونکي ګازونه کارول کیږي

د نایتروجن ټیفوریوم (NF3): یو ګاز د عکس العمل پاکولو او ساتلو لپاره کارول کیږي، معمولا د عکس العملونو او تجهیزاتو سطحونو پاکولو لپاره کارول کیږي.

سلفر هیکسافوریو (SF6): یو فلورنی ایینټ د اکسایډ زیرمو پروسو کې کارول کیږي او د انسولیټ میډیا ډکولو لپاره د انسجام ګاز په توګه.

د هایدروجن فلورمیډ (HF): د سیلیکون سطح څخه د اکسیډز څخه د اکسایډونو لرې کولو لپاره کارول کیږي او د والډول سیلیکون او نورو توکو لپاره اتکاټ په توګه.

نایتروجن فلورمیډ (NF): د والیکون نایبر (سینم نایبرډ (ALN) په توګه کارول کیږي.

truclloulomethane (Chf3) اوTetecrukulorthhorthane (CF4): د اوچال فلوورایډ موادو لکه سیلیکون فلووم او المونیم فلورمایډ کې کارول کیږي.

په هرصورت، د فلورین - لرونکي ګازونه ځانګړي خطرات لري، په شمول د زهریاسۍ، فشارونه، او اور لګونې.

زهري

ځینې ​​د فلورینګ لرونکي ګازونه زهرجن، لکه د هایدروجن فلورمیډ (HF) دي، چې د قصب پوټکي او تنفسي محافظت او د انسان روغتیا ته زیان رسوي.

فکري

د هایدروجن فلورمیډ او ځینې فلورې سرچینې خورا متقابل دي او کولی شي پوټکي، سترګو او تنفسي تسکرات ته د جدي زیان لامل شي.

اور اخیستنه

ځینې ​​فلورنس مړه د اوریدو وړ دي او په هوا کې د اوبو سره غبرګون ښیې ترڅو شدید تودوخه او زهرجن ګازونه خوشې کړي، کوم چې ممکن د اور یا چاودنې لامل شي.

د لوړ فشار خطر

ځینې ​​فلورنس ګازونه د لوړ فشار لاندې چاودیدونکي توکي دي او ځانګړې پاملرنې ته اړتیا لري کله چې کارول شوي او زیرمه شي.

په چاپیریال اغیزه

د فلورین لرونکي ګازونه د لوړ اتموسفیر د ژوند ارزښتونه او د GWP ارزښتونه لري، کوم چې د اتموسفیر اوزون طبیلیت د نړیوالې تودوخې او چاپیریال ککړتیا لامل کیږي.

په راپورته کیدلو برخو کې د ګازو کارول لکه الیکرونیکسیک لا دوام لري دوام لري، چې د صنعتي ګازونو لوی غوښتنه راوړي. د لوی بریښنایی اجزاو د نوي تولید ظرفیتونو پراساس لکه د سیمالیک چینجر او د بریښنایی کیمیاوي موادو د ځای په ځای کول، د کورنیو بریښنایی موادو ظرفیت به د لوړې ودې ګاز صنعت وي.