برېښناييځانګړي ګازونهد ځانګړو ګازونو یوه مهمه څانګه ده. دوی د سیمیکمډکټر تولید نږدې هرې لینک ته ننوځي او د بریښنایی صنعتونو لکه د الټرا لوی پیمانه مدغم سرکټونو، فلیټ پینل ښودنې وسیلو، او لمریز حجرو تولید لپاره لازمي خام مواد دي.

په سیمیکمډکټر ټیکنالوژۍ کې، فلورین لرونکي ګازونه په پراخه کچه کارول کیږي. اوس مهال، په نړیوال بریښنایی ګاز بازار کې، فلورین لرونکي بریښنایی ګازونه د ټولټال شاوخوا 30٪ جوړوي. فلورین لرونکي بریښنایی ګازونه د بریښنایی معلوماتو موادو په برخه کې د ځانګړو بریښنایی ګازونو یوه مهمه برخه ده. دوی په عمده توګه د پاکولو اجنټانو او ایچینګ اجنټانو په توګه کارول کیږي، او د ډوپنټ، فلم جوړولو موادو، او نورو په توګه هم کارول کیدی شي. پدې مقاله کې، لیکوال به تاسو ته د عام فلورین لرونکي ګازونو په اړه پوه شي.

لاندې عام کارول شوي فلورین لرونکي ګازونه دي

نایتروجن ټرای فلورایډ (NF3): یو ګاز چې د زیرمو پاکولو او لرې کولو لپاره کارول کیږي، معمولا د عکس العمل چیمبرونو او تجهیزاتو سطحو پاکولو لپاره کارول کیږي.

سلفر هیکسافلوورایډ (SF6): یو فلورینینګ اجنټ چې د اکسایډ د زیرمه کولو پروسو کې او د انسولیټینګ میډیا ډکولو لپاره د انسولیټینګ ګاز په توګه کارول کیږي.

هایدروجن فلورایډ (HF): د سیلیکون سطحې څخه د اکسایډونو لرې کولو لپاره او د سیلیکون او نورو موادو د ایچنټ کولو لپاره د ایچنټ په توګه کارول کیږي.

نایتروجن فلورایډ (NF): د سیلیکون نایټرایډ (SiN) او المونیم نایټرایډ (AlN) په څیر موادو د کیندلو لپاره کارول کیږي.

ټرای فلورومیتین (CHF3) اوټیټرافلوورومیتان (CF4): د فلورایډ موادو لکه سیلیکون فلورایډ او المونیم فلورایډ د کیندلو لپاره کارول کیږي.

په هرصورت، فلورین لرونکي ګازونه ځینې خطرونه لري، پشمول د زهرجنیت، زنګ وهلو او سوځیدنې وړتیا.

زهرجنتوب

ځینې ​​فلورین لرونکي ګازونه زهرجن دي، لکه هایدروجن فلورایډ (HF)، چې بخار یې پوستکي او تنفسي لارې ته ډیر ځورونکي دي او د انسان روغتیا ته زیان رسوي.

زنګ وهل

هایدروجن فلورایډ او ځینې فلورایډونه خورا زنګ وهونکي دي او کولی شي پوستکي، سترګو او تنفسي لارې ته جدي زیان ورسوي.

سوځېدنه

ځینې ​​فلورایډونه د اور اخیستو وړ دي او په هوا کې د اکسیجن یا اوبو سره تعامل کوي ترڅو شدید تودوخه او زهرجن ګازونه خوشې کړي، کوم چې ممکن د اور یا چاودنې لامل شي.

د لوړ فشار خطر

ځینې ​​فلورین لرونکي ګازونه د لوړ فشار لاندې چاودیدونکي دي او د کارولو او ذخیره کولو پرمهال ځانګړې پاملرنې ته اړتیا لري.

په چاپیریال باندې اغیزه

فلورین لرونکي ګازونه د اتموسفیر لوړ ژوند او د GWP ارزښتونه لري، کوم چې د اتموسفیر اوزون طبقه باندې ویجاړونکي اغیزه لري او ممکن د نړیوالې تودوخې او چاپیریال ککړتیا لامل شي.

د برېښنايي توکو په څېر په راڅرګندېدونکو برخو کې د ګازونو کارول لا هم ژورېږي، چې د صنعتي ګازونو لپاره د نوي تقاضا لویه برخه راوړي. په راتلونکو څو کلونو کې په چین کې د لویو برېښنايي اجزاو لکه سیمیکمډکټرونو او ښودنې پینلونو د نوي تولید ظرفیت د لوی مقدار پر بنسټ، او همدارنګه د برېښنايي کیمیاوي موادو د وارداتو بدیل لپاره د قوي غوښتنې پر بنسټ، د کورني برېښنايي ګاز صنعت به د لوړې ودې کچه پیل کړي.