عام فلورین لرونکي ځانګړي بریښنایی ګازونه پکې شامل ديسلفر هیکسافلوورایډ (SF6)ټنګسټن هیکسافلوورایډ (WF6)کاربن ټیټرا فلورایډ (CF4)، trifluoromethane (CHF3)، نايتروجن trifluoride (NF3)، hexafluoroethane (C2F6) او octafluoropropane (C3F8).
د نانو ټیکنالوژۍ پراختیا او د بریښنایی صنعت لوی کچې پراختیا سره ، د هغې غوښتنې ورځ په ورځ زیاتیږي. د نایتروجن ټرای فلورایډ د پینلونو او سیمی کنډکټرونو تولید او پروسس کې د لازمي او خورا لوی کارول شوي ځانګړي بریښنایی ګاز په توګه ، د بازار پراخه ځای لري.
د فلورین لرونکي ځانګړي ګاز ډول په توګه،نايتروجن تري فلورايډ (NF3)د بریښنایی ځانګړي ګاز محصول دی چې د بازار ترټولو لوی ظرفیت لري. دا د خونې په حرارت کې کیمیاوي غیر فعال دی، په لوړه تودوخه کې د اکسیجن څخه ډیر فعال، د فلورین څخه ډیر باثباته، او اداره کول اسانه دي. د نایتروجن ټرافلوورایډ په عمده ډول د پلازما اینچنګ ګاز او د عکس العمل چیمبر پاکولو اجنټ په توګه کارول کیږي ، او د سیمی کنډکټر چپسونو ، فلیټ پینل ډیزاینونو ، نظری فایبرونو ، فوتوولټیک حجرو او نورو تولید برخو لپاره مناسب دی.
د نورو فلورین لرونکي بریښنایی ګازونو په پرتله ،نايتروجن trifluorideد چټک غبرګون او لوړ موثریت ګټې لري. په ځانګړي توګه د سیلیکون لرونکي موادو لکه سیلیکون نایټریډ په نقاشۍ کې ، دا د نقاشۍ لوړه کچه او انتخابي وړتیا لري چې د ایچ شوي څیز په سطحه هیڅ پاتې نشي. دا د پاکولو خورا ښه اجنټ هم دی او سطح ته هیڅ ککړتیا نلري ، کوم چې کولی شي د پروسس پروسې اړتیاوې پوره کړي.
د پوسټ وخت: سپتمبر 14-2024
