عام فلورین لرونکي ځانګړي بریښنایی ګازونه شامل ديسلفر هیکسافلوورایډ (SF6)ټنګسټن هیکسافلوورایډ (WF6)کاربن ټیټرافلوورایډ (CF4)، ټرای فلورومیتین (CHF3)، نایټروجن ټرای فلورایډ (NF3)، هیکسافلوورویتین (C2F6) او اکټا فلوروپروپین (C3F8).
د نانو ټیکنالوژۍ پراختیا او د بریښنایی صنعت په لویه کچه پراختیا سره، د هغې غوښتنه به ورځ په ورځ زیاته شي. نایتروجن ټرای فلورایډ، د پینلونو او سیمیکمډکټرونو په تولید او پروسس کې د یو لازمي او ترټولو لوی کارول شوي ځانګړي بریښنایی ګاز په توګه، د بازار پراخه ځای لري.
د فلورین لرونکي ځانګړي ګاز د یو ډول په توګه،نایتروجن ټرای فلورایډ (NF3)د برېښنايي ځانګړي ګاز محصول دی چې د بازار ترټولو لوی ظرفیت لري. دا د خونې په تودوخه کې په کیمیاوي ډول غیر فعال دی، په لوړه تودوخه کې د اکسیجن څخه ډیر فعال، د فلورین څخه ډیر مستحکم، او د اداره کولو لپاره اسانه دی. نایتروجن ټرای فلورایډ په عمده توګه د پلازما ایچینګ ګاز او د عکس العمل چیمبر پاکولو اجنټ په توګه کارول کیږي، او د سیمیکمډکټر چپس، فلیټ پینل ډیسپلیز، آپټیکل فایبر، فوتوولټیک حجرو، او نورو د تولید ساحو لپاره مناسب دی.
د نورو فلورین لرونکو الکترونیکي ګازونو په پرتله،نایتروجن ټرای فلورایډد چټک غبرګون او لوړ موثریت ګټې لري. په ځانګړي توګه د سیلیکون لرونکي موادو لکه سیلیکون نایټرایډ په ایچینګ کې، دا د ایچینګ لوړ نرخ او انتخاب لري، د ایچینګ شوي شی په سطحه هیڅ پاتې شوني نه پریږدي. دا د پاکولو خورا ښه اجنټ هم دی او سطح ته هیڅ ککړتیا نلري، کوم چې کولی شي د پروسس پروسې اړتیاوې پوره کړي.
د پوسټ وخت: سپتمبر-۱۴-۲۰۲۴
