زموږ د هیواد د سیمیکمډکټر صنعت او پینل صنعت د سوکالۍ لوړه کچه ساتي. نایټروجن ټرای فلورایډ، د پینلونو او سیمیکمډکټرونو په تولید او پروسس کې د یو لازمي او ترټولو لوی حجم لرونکي ځانګړي بریښنایی ګاز په توګه، د بازار پراخه ځای لري.
په عام ډول کارول شوي فلورین لرونکي ځانګړي بریښنایی ګازونه شامل ديسلفر هیکسافلوورایډ (SF6)ټنګسټن هیکسافلوورایډ (WF6)کاربن ټیټرافلوورایډ (CF4)، ټرای فلورومیتین (CHF3)، نایټروجن ټرای فلورایډ (NF3)، هیکسافلووروایتان (C2F6) او اکټا فلوروپروپین (C3F8). نایټروجن ټرای فلورایډ (NF3) په عمده توګه د هایدروجن فلورایډ-فلورایډ ګاز لوړ انرژي کیمیاوي لیزرونو لپاره د فلورین سرچینې په توګه کارول کیږي. د H2-O2 او F2 ترمنځ د تعامل انرژي مؤثره برخه (شاوخوا 25٪) د لیزر وړانګو لخوا خوشې کیدی شي، نو د HF-OF لیزرونه د کیمیاوي لیزرونو په مینځ کې ترټولو امید لرونکي لیزرونه دي.
نایټروجن ټرای فلورایډ د مایکرو الیکترونیک صنعت کې د پلازما ایچنګ یو غوره ګاز دی. د سیلیکون او سیلیکون نایټرایډ ایچنګ لپاره، نایټروجن ټرای فلورایډ د کاربن ټیټرافلوورایډ او د کاربن ټیټرافلوورایډ او اکسیجن مخلوط په پرتله د ایچنګ کچه او انتخاب لوړ لري، او سطح ته هیڅ ککړتیا نلري. په ځانګړي توګه د 1.5um څخه کم ضخامت سره د مدغم سرکټ موادو ایچنګ کې، نایټروجن ټرای فلورایډ خورا غوره ایچنګ کچه او انتخاب لري، د ایچنګ شوي شی په سطحه هیڅ پاتې شوني نه پریږدي، او د پاکولو خورا ښه اجنټ هم دی. د نانو ټیکنالوژۍ پراختیا او د بریښنایی صنعت په لویه کچه پراختیا سره، د هغې غوښتنه به ورځ په ورځ زیاته شي.
د فلورین لرونکي ځانګړي ګاز د یو ډول په توګه، نایتروجن ټرای فلورایډ (NF3) په بازار کې ترټولو لوی بریښنایی ځانګړي ګاز محصول دی. دا په کیمیاوي ډول د خونې په تودوخه کې غیر فعال دی، د اکسیجن څخه ډیر فعال دی، د فلورین څخه ډیر مستحکم دی، او په لوړه تودوخه کې اداره کول اسانه دي.
نایتروجن ټرای فلورایډ په عمده توګه د پلازما ایچنګ ګاز او د عکس العمل چیمبر پاکولو اجنټ په توګه کارول کیږي، د تولید ساحو لکه سیمیکمډکټر چپس، فلیټ پینل ډیسپلیز، آپټیکل فایبر، فوتوولټیک حجرو او نورو لپاره مناسب دی.
د نورو فلورین لرونکو الکترونیکي ګازونو په پرتله، نایتروجن ټرای فلورایډ د چټک غبرګون او لوړ موثریت ګټې لري، په ځانګړې توګه د سیلیکون لرونکو موادو لکه سیلیکون نایټرایډ په ایچنګ کې، دا د ایچنګ لوړ نرخ او انتخاب لري، د ایچنګ شوي شی په سطحه هیڅ پاتې شوني نه پریږدي، او همدارنګه د پاکولو یو ډیر ښه اجنټ دی، او دا سطح ته ککړونکی نه دی او کولی شي د پروسس پروسې اړتیاوې پوره کړي.
د پوسټ وخت: دسمبر-۲۶-۲۰۲۴
