د نسبتا پرمختللي تولید پروسو سره د سیمیکمډکټر ویفر فاونډریز جوړولو پروسې کې ، نږدې 50 مختلف ډوله ګازونو ته اړتیا ده. ګازونه عموما په لویو ګازونو ویشل شوي ديځانګړي ګازونه.

په مایکرو الیکترونیک او سیمی کنډکټر صنعتونو کې د ګازونو کارول تل د سیمیکمډکټر پروسو کې مهم رول لوبولی دی ، په ځانګړي توګه د سیمیکمډکټر پروسې په پراخه کچه په بیلابیلو صنعتونو کې کارول کیږي. د ULSI، TFT-LCD څخه اوسني مایکرو الیکټرو میخانیکي (MEMS) صنعت ته، د سیمی کنډکټر پروسې د محصول تولید پروسې په توګه کارول کیږي، پشمول د وچ اینچنګ، اکسیډیشن، د آئن امپلانټیشن، پتلی فلم زیرمه، او نور.

د مثال په توګه، ډیری خلک پوهیږي چې چپس د شګو څخه جوړ شوي دي، مګر د چپس جوړولو ټول بهیر ته په کتو سره، ډیرو موادو ته اړتیا لیدل کیږي، لکه فوتوریزیسټ، پالش کولو مایع، هدف مواد، ځانګړي ګاز او نور اړین دي. د شاته پای بسته بندي د مختلفو موادو سبسټریټ، انټرپوزر، لیډ چوکاټونه، د تړلو موادو او نورو ته اړتیا لري. الکترونیک ځانګړي ګازونه د سیلیکون ویفرونو وروسته د سیمیکمډکټر تولید لګښتونو کې دوهم لوی توکي دي ، ورپسې ماسکونه او فوتوریزیسټونه دي.

د ګاز پاکوالی د اجزاو په فعالیت او د محصول په حاصلاتو باندې پریکړه کونکی اغیزه لري، او د ګاز رسولو خوندیتوب د پرسونل روغتیا او د فابریکې عملیاتو خوندیتوب پورې اړه لري. ولې د ګازو پاکوالی د پروسې په لیکه او پرسونل دومره لوی اغیزه لري؟ دا مبالغه نه ده، مګر پخپله د ګاز خطرناک ځانګړتیاو لخوا ټاکل کیږي.

د سیمی کنډکټر صنعت کې د عام ګازونو طبقه بندي

عادي ګاز

عادي ګاز ته بلک ګاز هم ویل کیږي: دا صنعتي ګاز ته اشاره کوي چې د پاکوالي اړتیا له 5N څخه ټیټه او د تولید او پلور لوی مقدار لري. دا د چمتو کولو مختلف میتودونو سره سم د هوا جلا کولو ګاز او مصنوعي ګاز ویشل کیدی شي. هایډروجن (H2)، نایتروجن (N2)، اکسیجن (O2)، ارګون (A2)، او نور.

ځانګړی ګاز

تخصصي ګاز صنعتي ګاز ته اشاره کوي چې په ځانګړو برخو کې کارول کیږي او د پاکوالي، ډولونو او ملکیتونو لپاره ځانګړي اړتیاوې لري. په عمده توګهSiH4PH3، B2H6، A8H3،HCL, CF4,NH3POCL3، SIH2CL2، SIHCL3،NH3, BCL3، SIF4، CLF3، CO، C2F6، N2O، F2، HF، HBR،SF6… او داسې نور.

د سپیشل ګازونو ډولونه

د ځانګړو ګازونو ډولونه: زهرجن، زهرجن، د اور لګیدونکي، احتراق ملاتړي، غیر فعال او داسې نور.
په عام ډول کارول شوي سیمیکمډکټر ګازونه په لاندې ډول طبقه بندي شوي:
(i) زهرجن او زهرجن:HCl、BF3 、WF6 、HBr 、SiH2Cl2 、NH3 、PH3 、Cl2BCl3…
(ii) د اور وړ: H2CH4,SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6،CH2F2،CH3F،CO…
(iii) د احتراق وړ: O2، Cl2، N2O، NF3…
(iv) Inert: N2CF4C2F6C4F8,SF6CO2Ne,Krهغه…

د سیمی کنډکټر چپ جوړولو په پروسه کې، شاوخوا 50 مختلف ډوله ځانګړي ګازونه (د ځانګړي ګازونو په نوم یادېږي) د اکسیډیشن، ډیفیوژن، ډیپوزیشن، ایچنګ، انجیکشن، فوټولیتوګرافي او نورو پروسو کې کارول کیږي، او د پروسې ټول پړاوونه له سلګونو څخه زیات دي. د مثال په توګه، PH3 او AsH3 د ایون امپلانټیشن په پروسه کې د فاسفورس او ارسنیک سرچینې په توګه کارول کیږي، د F-based ګازونه CF4، CHF3، SF6 او هالوجن ګازونه CI2، BCI3، HBr په عام ډول د اینچنګ په پروسه کې کارول کیږي، SiH4، NH3، N2O د جمع کولو فلم پروسه، F2/Kr/Ne، Kr/N په کې د فوتوګرافي پروسه

د پورتنیو اړخونو څخه، موږ پوهیږو چې ډیری سیمی کنډکټر ګازونه د انسان بدن ته زیان رسوي. په ځانګړې توګه، ځینې ګازونه، لکه SiH4، ځان سوځوي. تر هغه چې دوی لیکي، دوی به په هوا کې د اکسیجن سره تاوتریخوالی غبرګون وکړي او سوځول پیل کړي؛ او ASH3 ډیر زهرجن دی. هر کوچنی لیک ممکن د خلکو ژوند ته زیان ورسوي، نو د ځانګړو ګازونو کارولو لپاره د کنټرول سیسټم ډیزاین خوندیتوب اړتیاوې په ځانګړې توګه لوړې دي.

سیمیکنډکټرونه د لوړ پاکوالي ګازونو ته اړتیا لري ترڅو "درې درجې" ولري

د ګازو پاکوالی

په ګاز کې د ناپاک فضا مینځپانګه معمولا د ګاز د پاکوالي فیصدي په توګه څرګندیږي ، لکه 99.9999٪. په عموم کې، د بریښنایی ځانګړو ګازونو لپاره د پاکوالي اړتیا 5N-6N ته رسیږي، او همدارنګه د ناپاکۍ فضا محتوا ppm (په ملیون برخه)، ppb (په هر ملیارد برخه)، او ppt (په هر ټریلیون برخه) کې هم څرګندیږي. د بریښنایی سیمیکمډکټر ساحه د ځانګړي ګازونو د پاکوالي او کیفیت ثبات لپاره خورا لوړې اړتیاوې لري ، او د بریښنایی ځانګړي ګازونو پاکوالی عموما د 6N څخه ډیر دی.

وچوالی

په ګاز کې د ټریس اوبو مینځپانګه ، یا لندبل ، معمولا د اوس په نقطه کې څرګندیږي ، لکه د اتموسفیر د اوس نقطه -70 ℃.

پاکوالی

په ګاز کې د ککړو ذراتو شمیر، د ذراتو اندازه د µm په اندازه، په څو ذراتو/M3 ښودل کیږي. د فشار شوي هوا لپاره، دا معمولا د نه منلو وړ جامد پاتې شونو mg/m3 کې څرګندیږي، چې د تیلو مواد پکې شامل دي.