د سیمیډوکور ژوندی پروسې کې د تولیدي تولید تولیدي پروسو سره موندل، نږدې 50 بیلابیل ډولونو ګازونو ته اړتیا ده. ګازونه عموما د لوی ګازونو څخه ویشل شوي اوځانګړي ګازونه.

د مایکرو نظريونو او سیمپوړی صنعتونو کې د ګازو کارول تل د سیمیکینډکیټیکټر پروسو کې مهم رول لوبولی، په ځانګړي توګه د سیمیډوکیکټیکټر پروسو په مختلف صنعتونو کې په پراخه کچه کارول کیږي. د الیسسي اوسني مایکرو بریښنایی (MEMS) صنعت، سیمیکټیکٹکټر پروسې ته د سیمیکټیک کولو پروسو په شمول کارول کیږي، پشمول د وچ ایشنګ، اکسیډیشن، آیون مکسيډیشن، اتومات سټیشن، او داسې نور کارول کیږي.

د مثال په توګه، ډیری خلک پوهیږي چې چپس د شګو څخه جوړ شوي دي، مګر د CHIP تولید ټول پروسې ته ګوري، لکه ځانګړي توکي، د هدف توکي، هدفي توکي، په نښه شوي توکي، او نور. د شاتنۍ پای بسته بندۍ هم ځمکني خلکو، مداخلو، د مخکښو چوکاټونو، بوالی توکي، او داسې نورو نورو ته اړتیا لري. بریښنایی ځانګړي ګازونه د سیمیکون ویرفر وروسته د ماسکونو او فوټورونو په واسطه د سیمیک ډیکټیکټر تولید لګښتونو دوهم لوی توکي دي، ورپسې ماسکونو او فوټورسیانو لخوا تعقیب شوي.

د ګاز پاکو شبی د اجزاري فعالیت او محصول محصول پریکړه کونکی لري او د ګازو رسولو خوندیتوب د پرسونل روغتیا او د فابریکې عملیاتو خوندیتوب سره تړاو لري. ولې د ګاز پاک ګاز د پروسې او پرسونل دومره لوی تاثیر لري؟ دا مبالغه نده، مګر پخپله د ګازو له خطرناکو ځانګړتیاو سره ټاکل کیږي.

د سیمیک ډنډچر صنعت کې د عام ګازونو طبقه بندي

عادي ګاز

عادي ګاز د ګارګ ګاز هم هم ویل کیږي: دا صنعتي ګاز هم یادیږي چې د خالص حاصلاتو سره له 5 څخه ټیټ او د ډیری تولید او پلور پورې ټیټه کیږي. دا کولی شي په هوایی او مصنوعي ګاز کې د بیلابیل چمتووالي مختلف میتودونو سره سم په هوا کې د جلا کولو ګاز او مصنوعي ګاز ویشل شي. د هایدروجن (H2)، نایتروجن (N2)، اکسیجن (O2)، ارګون (A2)، او نور.

ځانګړی ګاز

د تخصصي ګاز صنعتي ګاز ته راجع کیږي چې په ځانګړو برخو کې کارول کیږي او د خالص، ډولونو او ملکیتونو لپاره ځانګړي اړتیاوې لري. اساساSIH4، ph3، b2h6، A8h3،HCL، CF4،NH3pocl3، Sih2cl2، SiHCl3،NH3, BCL3، SIF4، COLP3، CO، C2O6، N2O، F2، HF، HB، HF، HF،SF6... او داسې نور.

د سپک ګازونو ډولونه

د ځانګړي ګازونو ډولونه: فکري، سوځیدونکي، د احتراق - ملاتړ، غیر فعال، او داسې نور.
په عام ډول کارول شوي د سیممپیکټر ګازونه په لاندې ډول طبقه بندي شوي:
(i) فکري / زهرجن / زهرجن:HCL، BF3، WF6، HF6، SIH2CL2، NH3، Ph3، Co2،BCL3...
(ii) د اور تلو وړ: H2،ch4،SIH4، ph3، عواف، SIH2L2، B2H6، CH2F2، CH3F، Ch ...
(iii) د توپیر وړ: O2، CC2، N2O، NF3 ...
(iv) غیر فعال: N2،CF4، C2F6،C4F8،SF6، CO2،Ne،Kr، لار / ...

In the process of semiconductor chip manufacturing, about 50 different types of special gases (referred to as special gases) are used in oxidation, diffusion, deposition, etching, injection, photolithography and other processes, and the total process steps exceed hundreds. د مثال په توګه، Ph3 او AS ES3 د IA لخوا د IA لخوا د IA لخوا د فاسفورس او ارسنیک سرچینو په توګه کارول کیږي cf4، BCI3، N2O په عام ډول د زیرمو په پروسه، CFI3، N2O د پلورنځیو د فلم پروسې، F2O د سامان د فلم پروسې، F2O د سامان د فلم پروسې، F2O د سامان د فلم پروسې، F2O د سامان د فلم پروسې، F2O د سامان د فلم پروسې، F2O د سامان د فلم پروسې، F2O د ذخیره کولو فلم پروسې کې، F2O په عمومي ډول کارول کیږي.

له پورته اړخونو څخه، موږ پوهیږو چې ډیری سیمالپیکټر ګازونه د انسان بدن ته زیان رسوي. په ځانګړي توګه، ځینې ګازونه، لکه sih4، ځان په غوسه دي. هرڅومره چې دوی لیکي، دوی به په هوا کې د اکسیجن سره په تاوتریخوالي سره غبرګون وښیې او سوځیدنه پیل کړي؛ او ایش 31 ډیر زهرجن دی. هر څه چې د لیکې وړ لیک ​​د خلکو ژوند ته زیان رسوي، نو د ځانګړي ګازونو کارولو لپاره د کنټرول سیسټم ډیزاین خوندي کولو لپاره په ځانګړي ډول لوړ دی.

سیمالټچررس ته اړتیا لري ترڅو "درې درجې" ولري "لوړ پاک ګازونه ولري

د ګاز پاکتیا

په ګاز کې د شرافت فضا مینځپانګه معمولا د ګاز پاکیو سلنه په توګه ښودل کیږي، لکه 99.9999٪. په عمومي ډول، د بریښنایی ځانګړي ګازونو لپاره د خالصه اړتیا چې د امتیاز د فضا سره چمتو کوي PPM، PPB (په ملیارد ډالرو) کې ښودل شوی. بریښنایی سیمکټکټر ساحه د ځانګړي ګازونو او کیفیت ثبات لپاره لوړه اړتیاوې لري، او د بریښنایی ځانګړي ګاز پاکۍ عموما له 6 څخه لوی ده.

وچول

په ګاز، یا لندبل کې د اوبو د ورکولو مینځپانګه معمولا د DEW ټکي کې ښودل کیږي، لکه د اتموسفیر ډیو پوائنټ -70 ℃.

پاکوالی

په ګاز کې د ککړ ذوو شمیره، ذرات د μm د ذرې اندازې سره، آيا څرګندول شوي چې څومره ذرات / m3. د فشار شوي هوا لپاره، دا معمولا د MG / M3 نه منلو وړ قوي پاتې شونو کې ښودل کیږي، چې پکې د تیلو مینځپانګه شامله ده.