د نیمه کنډکټر ویفر فاونډریو د تولید په پروسه کې چې نسبتا پرمختللي تولیدي پروسې لري، نږدې 50 مختلف ډوله ګازونو ته اړتیا ده. ګازونه عموما په لویو ګازونو ویشل شوي دي اوځانګړي ګازونه.

د مایکرو الیکترونیک او سیمیکمډکټر صنعتونو کې د ګازونو کارول تل د سیمیکمډکټر پروسو کې مهم رول لوبولی دی، په ځانګړي توګه د سیمیکمډکټر پروسې په پراخه کچه په مختلفو صنعتونو کې کارول کیږي. د ULSI، TFT-LCD څخه تر اوسني مایکرو الیکټرو میخانیکي (MEMS) صنعت پورې، د سیمیکمډکټر پروسې د محصول تولید پروسو په توګه کارول کیږي، پشمول د وچ ایچنګ، اکسیډیشن، د آیون امپلانټیشن، د پتلي فلم زیرمه کول، او نور.

د مثال په توګه، ډیری خلک پوهیږي چې چپس د شګو څخه جوړ شوي دي، مګر د چپس جوړولو ټولې پروسې ته په کتو سره، ډیرو موادو ته اړتیا ده، لکه فوتوریزیسټ، پالش کولو مایع، هدف مواد، ځانګړي ګاز، او نور اړین دي. د شاته پای بسته بندۍ لپاره د مختلفو موادو سبسټریټونه، انټرپوزرونه، لیډ چوکاټونه، د اړیکو مواد، او نور هم اړتیا لري. د سیلیکون ویفرونو وروسته د سیمیکمډکټر تولید لګښتونو کې بریښنایی ځانګړي ګازونه دوهم لوی مواد دي، وروسته ماسکونه او فوتوریزیسټونه راځي.

د ګاز پاکوالی د اجزاو په فعالیت او د محصول په حاصلاتو باندې پریکړه کونکی اغیزه لري، او د ګاز رسولو خوندیتوب د پرسونل روغتیا او د فابریکې د عملیاتو خوندیتوب پورې اړه لري. ولې د ګاز پاکوالی د پروسې په لیکه او پرسونل دومره لوی اغیزه لري؟ دا مبالغه نه ده، بلکې د ګاز د خطرناکو ځانګړتیاوو له مخې ټاکل کیږي.

د سیمیکمډکټر صنعت کې د عامو ګازونو طبقه بندي

عادي ګاز

عادي ګاز ته د حجم ګاز هم ویل کیږي: دا هغه صنعتي ګاز ته اشاره کوي چې د پاکوالي اړتیا یې له 5N څخه کمه وي او د تولید او پلور حجم یې لوی وي. دا د چمتو کولو مختلف میتودونو سره سم د هوا جلا کولو ګاز او مصنوعي ګاز ویشل کیدی شي. هایدروجن (H2)، نایتروجن (N2)، اکسیجن (O2)، ارګون (A2)، او نور؛

ځانګړی ګاز

ځانګړی ګاز هغه صنعتي ګاز ته اشاره کوي چې په ځانګړو برخو کې کارول کیږي او د پاکوالي، ډول او ملکیتونو لپاره ځانګړي اړتیاوې لري. په عمده توګهسي ايچ ۴، PH3، B2H6، A8H3،ایچ سي ایل، سي ایف ۴،NH3 د، POCL3، SIH2CL2، SIHCL3،NH3 د, د BCL3، SIF4، CLF3، CO، C2F6، N2O، F2، HF، HBR،ایس ایف ۶... او داسې نور.

د سپیشل ګازونو ډولونه

د ځانګړو ګازونو ډولونه: زنګ وهونکي، زهرجن، اور اخیستونکي، د احتراق ملاتړ کوونکي، غیر فعال، او نور.
په عام ډول کارول شوي نیمه هادي ګازونه په لاندې ډول طبقه بندي شوي دي:
(i) زنګ وهونکی/زهرجن:ایچ سي ایل、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3 د کلسیم...
(ii) د اور اخیستو وړ: H2،CH4 د محصول نوم:،سي ايچ ۴、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6،CH2F2،CH3F،CO…
(iii) د احتراق وړ: O2، Cl2، N2O، NF3…
(iv) غیر فعال: N2،سي ایف ۴سي۲ایف۶،د C4F8 معرفي کول،ایس ایف ۶CO2،Ne،Kr、هغه…

د سیمیکمډکټر چپ جوړولو په پروسه کې، شاوخوا 50 مختلف ډوله ځانګړي ګازونه (چې ځانګړي ګازونه ورته ویل کیږي) په اکسیډیشن، خپریدو، جمع کولو، ایچینګ، انجیکشن، فوتولیتوګرافي او نورو پروسو کې کارول کیږي، او د پروسې ټول مرحلې له سلګونو څخه ډیرې دي. د مثال په توګه، PH3 او AsH3 د ایون امپلانټیشن پروسې کې د فاسفورس او ارسنیک سرچینو په توګه کارول کیږي، د F پر بنسټ ګازونه CF4، CHF3، SF6 او هالوجن ګازونه CI2، BCI3، HBr معمولا د ایچینګ پروسې کې کارول کیږي، SiH4، NH3، N2O د جمع کولو فلم پروسې کې، F2/Kr/Ne، Kr/Ne د فوټولولیتوګرافي پروسې کې.

له پورته اړخونو څخه، موږ پوهیږو چې ډیری سیمیکمډکټر ګازونه د انسان بدن ته زیان رسونکي دي. په ځانګړې توګه، ځینې ګازونه، لکه SiH4، پخپله سوځي. تر هغه چې دوی لیک شي، دوی به په هوا کې د اکسیجن سره په تاوتریخوالي سره غبرګون وښيي او سوځیدل به پیل کړي؛ او AsH3 خورا زهرجن دی. هر ډول لږ لیک ممکن د خلکو ژوند ته زیان ورسوي، نو د ځانګړو ګازونو کارولو لپاره د کنټرول سیسټم ډیزاین خوندیتوب لپاره اړتیاوې په ځانګړي ډول لوړې دي.

سیمیکمډکټرونه د "درې درجې" لوړ پاکوالي ګازونو ته اړتیا لري

د ګازو پاکوالی

په ګاز کې د ناپاکۍ فضا محتوا معمولا د ګاز د پاکوالي د سلنې په توګه څرګندیږي، لکه 99.9999٪. په عمومي توګه، د بریښنایی ځانګړو ګازونو لپاره د پاکوالي اړتیا 5N-6N ته رسیږي، او د ناپاکۍ د فضا محتوا ppm (په ملیون برخه)، ppb (په ملیارد برخه)، او ppt (په ټریلیون برخه) د حجم تناسب لخوا هم څرګندیږي. د بریښنایی سیمیکمډکټر ساحه د ځانګړو ګازونو د پاکوالي او کیفیت ثبات لپاره ترټولو لوړې اړتیاوې لري، او د بریښنایی ځانګړو ګازونو پاکوالی عموما د 6N څخه ډیر وي.

وچوالی

په ګاز کې د ټریس اوبو محتوا، یا لندبل، معمولا د شبنم په نقطه کې څرګندیږي، لکه د اتموسفیر د شبنم نقطه -70 ℃.

پاکوالی

په ګاز کې د ککړونکو ذراتو شمیر، هغه ذرات چې د µm ذراتو اندازه لري، د څو ذراتو/M3 په توګه ښودل کیږي. د فشار شوي هوا لپاره، دا معمولا د نه منلو وړ جامد پاتې شونو په mg/m3 کې څرګندیږي، چې پکې د تیلو مینځپانګه شامله ده.