د الټرا-لوړ پاکوالي (UHP) ګازونه د سیمیکمډکټر صنعت ژوند دی. لکه څنګه چې د نړیوال اکمالاتو سلسلې ته بې ساري غوښتنې او خنډونه د الټرا لوړ فشار ګاز بیه لوړوي، د نوي سیمیکمډکټر ډیزاین او تولیدي کړنې د ککړتیا کنټرول اړتیا لوړوي. د سیمیکمډکټر جوړونکو لپاره ، د UHP ګاز پاکوالي ډاډ ترلاسه کول د هر وخت څخه ډیر مهم دي.

د الټرا لوړ پاکوالي (UHP) ګازونه په عصري سیمیکمډکټر جوړولو کې خورا مهم دي

د UHP ګاز یو له اصلي غوښتنلیکونو څخه inertization دی: UHP ګاز د سیمیکمډکټر اجزاو شاوخوا محافظتي فضا چمتو کولو لپاره کارول کیږي ، پدې توګه دوی په اتموسفیر کې د لندبل ، اکسیجن او نورو ککړونکو زیانونو څخه ساتي. په هرصورت، inertization یوازې یو له ډیری مختلفو دندو څخه دی چې ګازونه د سیمیکمډکټر صنعت کې ترسره کوي. د لومړني پلازما ګازونو څخه د عکس العمل ګازونو پورې چې په اینچنګ او اینیلینګ کې کارول کیږي ، د الټرا لوړ فشار ګازونه د ډیری مختلف اهدافو لپاره کارول کیږي او د سیمی کنډکټر اکمالاتو سلسله کې اړین دي.

د سیمیکمډکټر صنعت کې ځینې "اصلي" ګازونه شامل دينايتروجن(د عمومي پاکولو او غیر فعال ګاز په توګه کارول کیږي)ارګون(د اصلي پلازما ګاز په توګه د نقاشۍ او زیرمه کولو عکس العملونو کې کارول کیږي)هیلیم(د ځانګړي تودوخې لیږد ملکیتونو سره د غیر فعال ګاز په توګه کارول کیږي) اوهایدروجن(د انیل کولو، زیرمه کولو، ایپیټیکسي او پلازما پاکولو کې ډیری رول لوبوي).

لکه څنګه چې د سیمیکمډکټر ټیکنالوژي وده او بدلون موندلی ، نو د تولید پروسې کې کارول شوي ګازونه هم لري. نن ورځ، د سیمی کنډکټر تولیدي فابریکې د ګازونو پراخه لړۍ کاروي، د غوره ګازونو څخه لکهکریپټناونیوند عکس العمل ډولونو ته لکه نایټروجن ټرای فلورایډ (NF 3) او ټنګسټن هیکسافلوورایډ (WF 6).

د پاکوالي لپاره د تقاضا وده

د لومړي سوداګریز مایکروچپ له ایجاد راهیسې ، نړۍ د سیمی کنډکټر وسیلو په فعالیت کې د حیرانتیا نږدې نږدې زیاتوالی شاهد دی. په تیرو پنځو کلونو کې، د دې ډول فعالیت ښه کولو لپاره یو له ډاډمن لارو څخه د "سایز اندازه کولو" له لارې و: د موجوده چپ جوړښتونو کلیدي ابعادو کمول ترڅو په ټاکل شوي ځای کې نور ټرانزیسټرونه راوباسي. سربیره پردې ، د نوي چپ جوړښتونو پراختیا او د کټ مټ موادو کارول د وسیلې فعالیت کې کودتا رامینځته کړې.

نن ورځ، د کټنګ سیمیک کنډکټرونو مهم ابعاد اوس دومره کوچني دي چې د اندازې اندازه کول نور د وسیلې فعالیت ښه کولو لپاره مناسبه لاره نه ده. پرځای یې، د سیمیکمډکټر څیړونکي د نوي موادو او 3D چپ جوړښتونو په بڼه د حلونو په لټه کې دي.

د لسیزو نه ستړي کیدونکي بیا ډیزاین پدې معنی دي چې د نن ورځې سیمیکمډکټر وسیلې د زاړه مایکروچپس په پرتله خورا پیاوړي دي - مګر دا خورا نازک هم دي. د 300mm ویفر جوړونې ټیکنالوژۍ راتګ د سیمی کنډکټر تولید لپاره د ناپاکۍ کنټرول کچه لوړه کړې. حتی د تولید په پروسه کې لږ ککړتیا (په ځانګړي توګه نادر یا غیر فعال ګازونه) کولی شي د ویجاړونکي تجهیزاتو ناکامۍ لامل شي - نو د ګاز پاکوالی اوس د هر وخت څخه ډیر مهم دی.

د یو عادي سیمیکمډکټر جوړونې فابریکې لپاره، د الټرا-لوړ پاکوالي ګاز لا دمخه د سیلیکون څخه وروسته ترټولو لوی مادي لګښت دی. دا لګښتونه یوازې د لوړیدو تمه کیږي ځکه چې د سیمیکمډکټرونو غوښتنه نوي لوړوالی ته لوړیږي. په اروپا کې پیښې د طبیعي ګاز د خورا لوړ فشار فشار بازار ته اضافي ګډوډي رامینځته کړې. اوکراین په نړۍ کې د لوړ پاکوالي یو له لوی صادرونکو څخه دینیوننښې د روسیې د برید معنی دا ده چې د نادر ګاز اکمالات محدود شوي دي. دا په بدل کې د نورو غوره ګازونو کمښت او لوړې بیې لامل شوې لکهکریپټناوزینون.