د الټرا لوړ پاکوالي (UHP) ګازونه د سیمیکمډکټر صنعت د ژوند وینه ده. لکه څنګه چې بې ساري تقاضا او د نړیوال اکمالاتي زنځیرونو کې ګډوډي د الټرا لوړ فشار ګاز بیه لوړوي، د نوي سیمیکمډکټر ډیزاین او تولیدي طریقې د ککړتیا کنټرول کچه لوړوي چې اړتیا ورته ده. د سیمیکمډکټر جوړونکو لپاره، د UHP ګاز پاکوالي ډاډمن کول تر بل هر وخت ډیر مهم دي.

د عصري سیمیکمډکټر تولید لپاره د الټرا های پیوریټي (UHP) ګازونه په بشپړ ډول مهم دي

د UHP ګاز یو له اصلي کارونو څخه انرجیژیشن دی: د UHP ګاز د سیمیکمډکټر اجزاو شاوخوا محافظتي فضا چمتو کولو لپاره کارول کیږي، په دې توګه دوی په اتموسفیر کې د رطوبت، اکسیجن او نورو ککړونکو زیان رسونکو اغیزو څخه ساتي. په هرصورت، انرجیژیشن یوازې د ډیری مختلفو دندو څخه یو دی چې ګازونه د سیمیکمډکټر صنعت کې ترسره کوي. د لومړني پلازما ګازونو څخه تر عکس العمل ګازونو پورې چې په ایچینګ او انیل کولو کې کارول کیږي، د الټرا لوړ فشار ګازونه د ډیری مختلف موخو لپاره کارول کیږي او د سیمیکمډکټر اکمالاتي سلسله کې اړین دي.

د سیمیکمډکټر صنعت کې ځینې "اصلي" ګازونه شامل دينایتروجن(د عمومي پاکولو او غیر فعال ګاز په توګه کارول کیږي)،ارګون(د ایچنګ او جمع کولو تعاملاتو کې د لومړني پلازما ګاز په توګه کارول کیږي)،هیلیم(د تودوخې د لیږد ځانګړي ځانګړتیاو سره د غیر فعال ګاز په توګه کارول کیږي) اوهایدروجن(د انیل کولو، ډیپوزیسون، ایپیټیکسي او پلازما پاکولو کې ډیری رول لوبوي).

لکه څنګه چې د نیمه هادي ټکنالوژۍ وده او بدلون موندلی، نو د تولید په پروسه کې کارول شوي ګازونه هم وده کړې ده. نن ورځ، د نیمه هادي تولیدونکي فابریکې د ګازونو پراخه لړۍ کاروي، له عالي ګازونو څخه لکهکریپټوناونیوند نایتروجن ټرای فلورایډ (NF 3) او ټنګسټن هیکسافلوورایډ (WF 6) په څیر تعامل کونکو ډولونو ته.

د پاکوالي لپاره مخ په زیاتیدونکې غوښتنه

د لومړي سوداګریز مایکروچپ له اختراع راهیسې، نړۍ د سیمیکمډکټر وسیلو په فعالیت کې د حیرانتیا وړ نږدې-تکراري زیاتوالي شاهده ده. په تیرو پنځو کلونو کې، د دې ډول فعالیت ښه والي ترلاسه کولو لپاره یوه له ډاډمنو لارو څخه د "اندازې اندازه کول" له لارې وه: د موجوده چپ جوړښتونو کلیدي ابعاد کمول ترڅو په ټاکل شوي ځای کې ډیر ټرانزیسټرونه فشار کړي. سربیره پردې، د نوي چپ جوړښتونو پراختیا او د عصري موادو کارولو د وسیلې فعالیت کې کودونه رامینځته کړي دي.

نن ورځ، د پرمختللي سیمیکمډکټرونو مهم اړخونه دومره کوچني دي چې د اندازې اندازه کول نور د وسیلو فعالیت ښه کولو لپاره د اعتبار وړ لاره نه ده. پرځای یې، د سیمیکمډکټر څیړونکي د نوي موادو او 3D چپ معمارۍ په بڼه د حل لارو په لټه کې دي.

د لسیزو نه ستړې کېدونکې بیا ډیزاین پدې معنی دی چې د نن ورځې سیمیکمډکټر وسایل د پخوانیو مایکروچپسونو په پرتله خورا پیاوړي دي - مګر دوی ډیر نازک هم دي. د 300 ملي میتر ویفر جوړونې ټیکنالوژۍ راتګ د سیمیکمډکټر تولید لپاره د اړتیا وړ ناپاکۍ کنټرول کچه لوړه کړې. حتی د تولید پروسې کې لږ ککړتیا (په ځانګړي توګه نادر یا غیر فعال ګازونه) کولی شي د ویجاړونکي تجهیزاتو ناکامۍ لامل شي - نو د ګاز پاکوالی اوس تر بل هر وخت ډیر مهم دی.

د یوې عادي سیمیکمډکټر جوړولو فابریکې لپاره، د الټرا لوړ پاکوالي ګاز لا دمخه د سیلیکون وروسته ترټولو لوی مادي لګښت دی. تمه کیږي چې دا لګښتونه به یوازې هغه وخت زیات شي کله چې د سیمیکمډکټرونو غوښتنه نوي لوړوالی ته ورسیږي. په اروپا کې پیښو د الټرا لوړ فشار طبیعي ګاز بازار ته اضافي ګډوډي رامینځته کړې. اوکراین د نړۍ د لوړ پاکوالي لوی صادرونکو څخه دی.نیوننښې نښانې؛ د روسیې یرغل پدې معنی دی چې د نادره ګازو اکمالات محدود شوي دي. دا په پایله کې د نورو عالي ګازونو کمښت او لوړې بیې لامل شوې لکهکریپټوناوزینون.